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Come funziona l’analisi EDX nel microscopio elettronico a scansione(SEM)


I microscopi elettronici a scansione (SEM) utilizzano fasci di elettroni per investigare un campione su nanoscala. I principali tipi di segnali rilevati sono gli elettroni retrodiffusi (BSE) e gli elettroni secondary (SE), che generano un’immagine in bianco e nero del campione con un elevato ingrandimento. Ci sono però numerosi altri segnali che possono essere generati dall’ interazione tra gli elettroni e la materia e per fornire ulteriori informazioni sul campione. In questo articolo descriveremo come funziona sul SEM l’analisi energy dispersive X-ray (EDX O EDS).

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